ظرفیت هارمونیک ذخیره نیرو در یک پلاسمای خازنی جفت‌شده دو فرکانسی-کامسول
Harmonic Content of the Power Deposition into a Dual Frequency Capacitively Coupled Plasma
انتقال انرژی از میدان الکترواستاتیک متغیر با زمان به الکترون‌ها در یک پلاسمای خازنی جفت‌شده (CCP) منحصراً در دو برابر فرکانس RF رخ نمی‌دهد. با توجه به مکانیسم بسیار غیرخطی انتقال نیرو از میادین به الکترون‌ها، ذخیرۀ نیرو در فرکانس‌های بالاتر از دو برابر فرکانس رانشی اتفاق می‌افتد. برای راکتورهای CCP با فرکانس دوگانه، ظرفیت هارمونیک ذخیرۀ نیرو در فرکانس‌های مختلفی رخ می‌دهد.
ماژول‌های استفاده شده
ماژول‌های استفاده شده
- COMSOL Multiphysics® and
- Plasma Module
راهنمای دانلود:
- لینک دانلود به صورت پارت های 1 گیگابایتی در فایل های ZIP ارائه شده است.
- در صورتی که به هر دلیل موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید به ما اطلاع دهید.
دانلود فایل
برای مشاهده لینک دانلود لطفا وارد حساب کاربری خود شوید!
وارد شوید
محل نمایش فرم گزارش مشکل دانلود شما.
دیدگاهتان را بنویسید