ریزآینه از پیش تعیین شده-کامسول

یکی از روش‌های ایجاد ساختارهای شبه‌فنری یا تحریک انحنای سازه‌های نازک، قرار دادن آن‌ها در زیر لایه‌هایی است که تحت تأثیر فشارهای پسماند قرار دارند.

روند آبکاری می‌تواند این تنش را حتی برای مواد مشابه کنترل کند. یكی از این دستگاه‌ها ریزآینۀ كنترل‌شدۀ الکترواستاتیک است. به طور معمول بسیار كوچك بوده و می‌توان آرایه‌هایی از این قبیل دستگاه‌ها را در پروژکتورها پیاده‌سازی نمود.

در این بخش اصول چگونگی تنظیم و حل بالابر دستگاه‌های آبکاری شده از پیش تعیین شده نشان داده شده است. این مدل استفاده از تغییر شکل بزرگ و ویژگی‌های تنش اولیه در ماژول MEMS را نشان می‌دهد.