راکتور سه‌بعدی ICP، شیمی آرگون-کامسول
3D ICP Reactor, Argon Chemistry
مدل‌سازی پلاسما سه‌بعدی در کامسول امکان‌پذیر است. یک سیم‌پیچ مربع در بالای یک پنجرۀ دی‌الکتریک قرار دارد و با برق 13.56MHz برانگیخته می‌شود. پلاسما در محفظه زیر پنجرۀ دی‌الکتریک تشکیل می‌شود که حاوی گاز آرگون در فشار کم (20 mtorr) است. گاز از دو درگاه 2 اینچی وارد محفظه فرآیند شده و گاز از طریق پورت 4 اینچی منفرد استخراج می‌شود. پلاسما از طریق القای الکترومغناطیسی که در آن قدرت از میدان‌های الکترومغناطیسی به الکترون‌ها منتقل می‌شود، پایدار می‌ماند.
ماژول‌های استفاده شده
ماژول‌های استفاده شده
- COMSOL Multiphysics® and
- AC/DC Module and
- Plasma Module
راهنمای دانلود:
- لینک دانلود به صورت پارت های 1 گیگابایتی در فایل های ZIP ارائه شده است.
- در صورتی که به هر دلیل موفق به دانلود فایل مورد نظر نشدید به ما اطلاع دهید.
دانلود فایل
برای مشاهده لینک دانلود لطفا وارد حساب کاربری خود شوید!
وارد شوید
محل نمایش فرم گزارش مشکل دانلود شما.
دیدگاهتان را بنویسید