حکّاکی شیمیایی-کامسول

این مثال اصل حکّاکی شیمیایی مرطوب را برای هندسه دوبعدی تحت جریان لایه ای نشان می دهد. هدف از این آموزش بررسی نحوه استفاده از مواد زیرساختی مس و چگونگی شکل حفره در طی روند حکّاکی مرطوب است. حکّاکی مرطوب برای صنایع میکرو الکترونیک و برای الگویی از مدارهای مجتمع، دستگاه¬های MEMS، اپتوالکترونیک و حسگرهای فشار بسیار مهم است. فرآیندهای رطوبت از اکسیدان¬های محلول (“مرطوب”) استفاده می¬کنند، در حالیکه زیرساختی که باید تراشیده شود، در یک جریان کنترل شده از حکّاک غوطه¬ور می¬شود.