کتابخانه مواد MEMS که در ماژول MEMS و ماژول مکانیک سازه گنجانده شده است، حاوی چندین ماده است که معمولاً در برنامه های MEMS استفاده می شود. مواد به فلزات، نیمه هادی ها، عایق ها و پلیمرها تقسیم می شوند.
ساختار اصلی کتابخانه از کتاب میکروحسگرها، MEMS و دستگاه های هوشمند ( مراجعه 1 ) آمده است. خواص مواد از دو منبع اصلی می‌آیند: CRC Handbook of Chemistry and Physics ( مراجعه 2 ) و داده‌های شیمیایی و فیزیکی MacMillan ( مرجع 3 ). برخی از خواص مکانیکی موجود در کتابخانه، مقادیر ویژه MEMS از کتاب راهنمای MEMS ( مراجعه 4 ) هستند، و بسیاری از خواص نیمه هادی مقادیری از Ref هستند. 5 . بیشتر خواص مواد PDMS بر اساس Ref. 7 ، که در آن مدول یانگ بر اساس Ref. 8 .
مرجع. 6 منبع ارزشمندی برای بررسی متقابل خواص مواد عایق فراهم می کند.
|
مواد
|
|
فلزات
|
|
Al – آلومینیوم/آلومینیوم
|
|
Ag – نقره
|
|
طلا – طلا
|
|
Cr – کروم
|
|
با – مس
|
|
در – ایندیوم
|
|
Ti – تیتانیوم
|
|
آهن – آهن
|
|
نیکل – نیکل
|
|
سرب – سرب
|
|
Pd – پالادیوم
|
|
پلاتین – پلاتین
|
|
Sb – آنتیموان
|
|
W – تنگستن
|
|
نیمه هادی ها
|
|
الماس (100)
|
|
GaAs – آرسنید گالیم
|
|
Ge – ژرمانیوم
|
|
InSb – آنتی مونید ایندیوم
|
|
Si – سیلیکون پلی کریستالی
|
|
Si – سیلیکون (تک کریستالی، همسانگرد)
|
|
Si – سیلیکون (تک کریستالی، ناهمسانگرد)
|
|
عایق ها
|
|
Al 2 O 3 – اکسید آلومینیوم / اکسید آلومینیوم
|
|
SiC (6H) – کاربید سیلیکون
|
|
Si 3 N 4 – نیترید سیلیکون
|
|
SiO 2 – اکسید سیلیکون
|
|
ZnO – اکسید روی
|
|
بوروسیلیکات
|
|
پلیمرها
|
|
نایلون
|
|
PDMS – پلی دی متیل سیلوکسان
|
|
PMMA – پلی متیل متاکریلات
|
|
پلی آمید
|
|
پلی اتیلن
|
|
PTFE – پلی تترا فلوئورواتیلن
|
|
پی وی سی – پلی وینیل کلراید
|
