کتابخانه مواد تخلیه تعادل همراه با ماژول پلاسما است و حاوی مواد فهرست شده در جدول 9-31 است. مقادیر بر اساس داده های Ref. 1. گروه های دارایی مواد (شامل تمام خواص مرتبط) در جدول 9-14 فهرست شده اند .
مواد
|
هوا
|
آرگون
|
هلیوم
|
هیدروژن
|
نیتروژن
|
اکسیژن
|