پلاسمای جفت القایی جدید با رابط بایاس RF رابطهای پلاسما، میدانهای زمانی دورهای و مغناطیسی را جفت میکند و برای مدلسازی راکتورهای پلاسمای جفت شده القایی با بایاس RF دورهای (همچنین به عنوان راکتورهای ICP یا CCP شناخته میشود) استفاده میشود.
مطالعه دورهای فرکانس-زمان برای محاسبه راهحل حالت پایدار دورهای برای مدلهایی با استفاده از پلاسما، رابط دوره زمانی همراه با میدانهای الکترومغناطیسی در حوزه فرکانس استفاده میشود. این مطالعه برای پلاسمای جفت القایی پلاسما با رابط بایاس RF در دسترس است.
افزودنی جدید Plasma Chemistry امکان وارد کردن فایلی را می دهد که به طور خودکار یک شیمی کامل پلاسما ایجاد می کند. در Model Builder، ویژگیهایی مانند واکنشهای ضربه الکترون ، گونهها و موارد دیگر به طور خودکار از دستورالعملهایی که میتوانید در یک فایل مشخص کنید ایجاد میشوند. جنبه های زیر از شیمی پلاسما را می توان در فایل مشخص کرد:
اکنون می توان رابط پلاسما، زمان دوره ای را با رابط های انتقال حرارت در رابط های سیال و جریان آرام جفت کرد. در بخش ورودیهای مدل در گره مدل پلاسما ، فیلدهای دما ، فشار مطلق و سرعت را میتوان به رابطهای انتقال حرارت در سیالات و جریان آرام متصل کرد. در رابطهای انتقال حرارت در رابطهای سیال و جریان آرام، ویژگیهای سیال و گرههای سیال میتوانند مقادیر متوسط دوره محاسبهشده در مدل پلاسما را دریافت کنند، مانند چگالی متوسط دوره، هدایت حرارتی و ویسکوزیته دینامیکی.
ویژگی Heat Source اکنون گزینه ای برای دریافت منبع حرارت متوسط دوره برای گاز محاسبه شده در پلاسما، واسط Time Periodic دارد.
مدل جدید راکتور پلاسمای جفت القایی آرگون/کلر با مدل RF Bias کوپلینگ های ذکر شده در بالا را نشان می دهد.
ویژگیهای Inflow و Outflow در رابط پلاسما، Time Periodic تنظیم شرایط مرزی را برای بسیاری از گونههای مربوط به ورودیها و خروجیهای سیال آسان میکند.
مدل جدید راکتور پلاسمای جفت شده القایی آرگون/کلر با بایاس RF و مدل راکتور پلاسمای جفت شده خازنی آرگون/اکسیژن از این ویژگی ها در زمینه شیمی های پیچیده پلاسما استفاده می کنند.
رابطهای تخلیه تعادلی با سه رابط جدید جایگزین شدهاند: تخلیههای تعادلی، جریانهای خارج از صفحه. تخلیه های تعادلی، جریان های درون صفحه. و تخلیه های تعادلی. رابط ها بیشتر شبیه به قبل به نظر می رسند، با این استثنا که رابط جدید مغناطیسی و میدان الکتریکی در رابط تخلیه تعادلی، جریان های درون صفحه استفاده می شود. انتخاب اینترفیس برای استفاده اکنون بر اساس صفحه ای است که جریان ها برای آن محاسبه می شود.
استفاده از رابط میدان های مغناطیسی و الکتریکی، ثبات عددی را افزایش می دهد و زمان محاسباتی را به میزان قابل توجهی کاهش می دهد، همانطور که در مدل قوس پالسی پلاسما دیده می شود .
اکنون میتوان انتشار همسانگرد برای یونها را در بخش تثبیت ناسازگار پلاسما، رابط دورهای زمانی اضافه کرد. این گزینه زمانی در دسترس است که انتخاب گونه های سنگین روی هندسه پایه تنظیم شده باشد.