 |
تخلیه براق DC، 1D
معرفی
تخلیه تابش DC در رژیم فشار پایین مدت‌هاست که برای لیزرهای گازی و لامپ‌های فلورسنت استفاده می‌شود. تخلیه DC برای مطالعه خوب است زیرا راه حل مستقل از زمان است. این مدل نحوه استفاده از رابط پلاسما را برای تنظیم تجزیه و تحلیل یک ستون مثبت نشان می دهد. تخلیه با انتشار الکترون های ثانویه در کاتد حفظ می شود.
تعریف مدل
تخلیه DC از دو الکترود تشکیل شده است، یکی برقی (آند) و دیگری زمینی (کاتد):
شکل 1: شماتیک تخلیه DC. ولتاژ اعمال شده روی الکترودها منجر به تشکیل پلاسما می شود.
معادلات دامنه
چگالی الکترون و انرژی متوسط الکترون با حل یک جفت معادله رانش- انتشار برای چگالی الکترون و انرژی الکترون میانگین محاسبه می‌شود. جابجایی الکترون ها در اثر حرکت سیال نادیده گرفته می شود. برای اطلاعات دقیق در مورد انتقال الکترون، به نظریه برای رابط انتشار دریفت در راهنمای کاربر ماژول پلاسما مراجعه کنید .
جایی که:
منبع الکترون R e و اتلاف انرژی ناشی از برخوردهای غیر کشسان R ε بعداً تعریف می‌شوند. انتشار الکترون، تحرک انرژی و انتشار انرژی از تحرک الکترون با استفاده از:
ضرایب منبع در معادلات فوق توسط شیمی پلاسما با استفاده از ضرایب سرعت تعیین می شود. فرض کنید که واکنش‌های M وجود دارد که به رشد یا فروپاشی چگالی الکترون و برخوردهای الکترون خنثی غیرالاستیک P کمک می‌کند. به طور کلی P >> M . در مورد ضرایب سرعت، عبارت منبع الکترونی با:
که در آن xj کسر مولی گونه هدف برای واکنش j است ، kj ضریب سرعت واکنش j (m3 / s ) و Nn چگالی عدد خنثی کل (1/m3 ) است . برای تخلیه DC بهتر است از ضرایب تاونسند به جای ضرایب سرعت برای تعریف نرخ واکنش استفاده شود. ضرایب تاونسند توصیف بهتری از آنچه در ناحیه سقوط کاتد اتفاق می‌افتد، ارائه می‌دهد. وقتی از ضرایب تاونسند استفاده می‌شود، عبارت منبع الکترون به صورت زیر ارائه می‌شود:
جایی که αj ضریب تاونسند برای واکنش j (m2 ) و Γe شار الکترون همانطور که در بالا تعریف شد (1/(m2 · s ) است ). ضرایب تاونسند می‌توانند پایداری طرح عددی را هنگامی که شار الکترون در میدان هدایت می‌شود، همانطور که در مورد تخلیه‌های DC وجود دارد، افزایش دهد. اتلاف انرژی الکترون با جمع کردن تلفات انرژی برخورد در تمام واکنش ها به دست می آید:
که در آن Dej اتلاف انرژی از واکنش j (V) است. ضرایب نرخ را می توان از داده های مقطعی توسط انتگرال زیر محاسبه کرد:
که γ = ( 2 q / m e ) 1 / 2 ( C 1 / 2 / kg 1 / 2 ) ، m e جرم الکترون (kg) ، ε انرژی (V) ، σ k سطح مقطع برخورد است ( m 2 ) و f تابع توزیع انرژی الکترون است. در این مورد یک EEDF ماکسولی فرض می شود. هنگامی که از ضرایب تاونسند استفاده می شود، اتلاف انرژی الکترون به صورت زیر در نظر گرفته می شود:
برای گونه های غیر الکترونی، معادله زیر برای کسر جرمی هر گونه حل می شود. برای اطلاعات دقیق در مورد انتقال گونه‌های غیرالکترونی به نظریه رابط حمل و نقل گونه‌های سنگین در راهنمای کاربر ماژول پلاسما مراجعه کنید .
میدان الکترواستاتیک با استفاده از رابطه زیر محاسبه می شود:
چگالی بار فضایی ρ به طور خودکار بر اساس شیمی پلاسما مشخص شده در مدل با استفاده از فرمول محاسبه می شود:
برای اطلاعات دقیق در مورد الکترواستاتیک به تئوری برای رابط الکترواستاتیک در راهنمای کاربر ماژول پلاسما مراجعه کنید .
شرایط مرزی
برخلاف تخلیه‌های RF، مکانیسم حفظ تخلیه، انتشار الکترون‌های ثانویه از کاتد است. یک الکترون از سطح کاتد با احتمال مشخص در هنگام برخورد یونی گسیل می شود. این الکترون‌ها سپس توسط میدان الکتریکی قوی نزدیک به کاتد شتاب می‌گیرند، جایی که انرژی کافی برای شروع یونیزاسیون به دست می‌آورند. نتیجه خالص افزایش سریع چگالی الکترون نزدیک به کاتد در ناحیه ای است که اغلب به عنوان سقوط کاتد یا فضای تاریک کروکس شناخته می شود .
الکترون ها به دلیل حرکت تصادفی در چند مسیر آزاد متوسط دیوار به دیوار گم می شوند و به دلیل اثرات گسیل ثانویه به دست می آیند که در نتیجه شرایط مرزی زیر برای شار الکترون ایجاد می شود:
(1)
و شار انرژی الکترون:
(2)
عبارت دوم در سمت راست معادله 1 ، افزایش الکترون ها به دلیل اثرات گسیل ثانویه است، γ p ضریب انتشار ثانویه است. عبارت دوم در معادله 2 شار انرژی گسیل ثانویه است، ε p میانگین انرژی الکترون های ثانویه است. برای گونه‌های سنگین، یون‌ها به دلیل واکنش‌های سطحی و این واقعیت که میدان الکتریکی به سمت دیوار هدایت می‌شود، به دیواره از بین می‌رود:
شیمی پلاسما
آرگون یکی از ساده ترین مکانیسم هایی است که در فشارهای پایین اجرا می شود. حالت‌های برانگیخته الکترونیکی را می‌توان به یک گونه واحد تبدیل کرد که منجر به یک مکانیسم شیمیایی متشکل از تنها 3 گونه و 7 واکنش می‌شود (قطعات برخورد الکترون‌ها از مرجع 2 بدست می‌آید ):
واکنش | فرمول | نوع |  |
1 | e+Ar=>e+Ar | کشسان | 0 |
2 | e+Ar=>e+Ars | برانگیختگی | 11.5 |
3 | e+Ars=>e+Ar | فوق الاستیک | -11.5 |
4 | e+Ar=>2e+Ar+ | یونیزاسیون | 15.8 |
5 | e+Ars=>2e+Ar+ | یونیزاسیون | 4.24 |
6 | ارس+ارس=>ای+ار+ار+ | یونیزاسیون پنینگ | – |
7 | ارس+ار=>ار+ار | کوئنچینگ فراپایدار | – |
در این تخلیه، چگالی الکترون و چگالی گونه های برانگیخته نسبتا کم است، بنابراین یونیزاسیون گام به گام به اندازه تخلیه های با چگالی بالا اهمیت ندارد. علاوه بر واکنش های حجمی، واکنش های سطحی زیر انجام می شود:
واکنش | فرمول | ضریب چسبندگی |
1 | ارس=>ار | 1 |
2 | Ar+=>Ar | 1 |
هنگامی که یک اتم آرگون ناپایدار با دیوار تماس پیدا می کند، با احتمال کمی (ضریب چسبندگی) به اتم آرگون حالت پایه باز می گردد.
نتایج و بحث
پتانسیل الکتریکی، چگالی الکترون و انرژی متوسط الکترون همگی کمیت های مورد توجه هستند. بیشتر تغییرات در هر یک از این مقادیر در طول محوری ستون رخ می دهد. شکل 2 چگالی الکترون در ستون را نشان می دهد. چگالی الکترون در ناحیه بین سقوط کاتد و ستون مثبت به اوج می رسد. گاهی اوقات از این منطقه به عنوان فضای تاریک فارادی یاد می شود. چگالی الکترونی به‌دست‌آمده در این مدل 1 بعدی با آنچه در مدل دو بعدی به‌دست می‌آید متفاوت است، زیرا از دست دادن انتشاری الکترون‌ها به دیواره‌های بیرونی و تجمع بار سطحی روی دیوارها مدل‌سازی نشده است.
شکل 2: چگالی الکترون در طول محوری ستون مثبت.
در شکل 3 پتانسیل الکتریکی در طول محوری ستون رسم شده است. توجه داشته باشید که مشخصات پتانسیل به طور قابل توجهی متفاوت از افت خطی پتانسیل است که منجر به عدم وجود پلاسما می شود. میدان الکتریکی قوی در ناحیه کاتد می تواند منجر به بمباران یونی با انرژی بالا کاتد شود. گرم شدن سطح کاتد رخ می دهد که به نوبه خود ممکن است منجر به انتشار الکترون حرارتی شود که در آن الکترون های اضافی از سطح کاتد ساطع می شوند.
شکل 3: دمای الکترون در طول محوری ستون مثبت.
شکل 4: پتانسیل در طول محوری ستون مثبت.
شکل 5: کسر جرمی اتم های آرگون برانگیخته در طول محوری ستون مثبت.
شکل 6: چگالی تعداد یون های آرگون در طول محوری ستون مثبت.
جریان پلاسما ناشی از الکترون ها، یون ها و مجموع آنها در شکل 7 نشان داده شده است . همانطور که انتظار می رود، جریان یونی در کاتد بیشترین مقدار را دارد و در ناحیه سقوط کاتد به شدت افزایش می یابد. بمباران یونی کاتد منجر به آزاد شدن جریان الکترونی از الکترود می شود. جریان الکترون به شدت در ناحیه سقوط کاتد افزایش می‌یابد زیرا دمای بالای الکترون منجر به تولید الکترون‌های جدید می‌شود که سپس به جریان کل الکترون کمک می‌کند. هنگامی که الکترون ها از ناحیه سقوط کاتد عبور می کنند، چگالی جریان الکترون به دلیل تولید الکترون های جدید از طریق یونیزاسیون ضربه الکترون با گاز زمینه افزایش می یابد.
شکل 7: چگالی جریان الکترون (آبی)، چگالی جریان یونی (سبز) و چگالی جریان کل (قرمز) در طول محوری ستون مثبت.
ارجاع
1. MA Lieberman و AJ Lichtenberg، اصول تخلیه پلاسما و پردازش مواد ، جان ویلی و پسران، 2005.
2. پایگاه داده فلپس، www.lxcat.net ، بازیابی شده در سال 2017.
مسیر کتابخانه برنامه: Plasma_Module/Direct_Current_discharges/positive_column_1d
دستورالعمل های مدل سازی
از منوی File ، New را انتخاب کنید .
جدید
در پنجره جدید ، روی 
Model Wizard کلیک کنید .
Model Wizard کلیک کنید .مدل جادوگر
1 | در پنجره Model Wizard ، روی  1D کلیک کنید . |
2 | در درخت Select Physics ، Plasma>Plasma (plas) را انتخاب کنید . |
3 | روی افزودن کلیک کنید . |
4 |  روی مطالعه کلیک کنید . |
5 | در درخت انتخاب مطالعه ، General Studies>Time Dependent را انتخاب کنید . |
6 |  روی Done کلیک کنید . |
هندسه 1
فاصله هندسی مطابق با نسخه دوبعدی مدل است که در کتابخانه برنامه موجود است .
فاصله 1 (i1)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Geometry 1 کلیک راست کرده و Interval را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای فاصله ، قسمت فاصله را بیابید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
مختصات (M) |
0.016 |
0.384 |
تعاریف
متغیرهای 1
1 | در نوار ابزار صفحه اصلی ، روی  متغیرها کلیک کنید و متغیرهای محلی را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای متغیرها ، بخش متغیرها را پیدا کنید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
نام | اصطلاح | واحد | شرح |
mueN | 1E24[1/(m*V*s)] | 1/(V·m·s) | تحرک الکترون |
V0 | 200 [V] | V | ولتاژ اعمال شده |
Wf | 5 | عملکرد کار سطحی | |
p0 | 0.1[torr] | پا | فشار گاز |
پلاسما
واردات مقطع 1
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Plasma (plas) کلیک راست کرده و Global>Cross Section Import را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای واردات مقطع ، بخش واردات مقطع را پیدا کنید . |
3 |  روی Browse کلیک کنید . |
4 | به پوشه Application Libraries مدل بروید و روی فایل Ar_xsecs.txt دوبار کلیک کنید . |
5 |  روی Import کلیک کنید . |
6 | در پنجره Model Builder ، روی Plasma (plas) کلیک کنید . |
7 | در پنجره تنظیمات پلاسما ، قسمت ویژگی های پلاسما را پیدا کنید . |
8 | کادر بررسی استفاده از خواص انتقال الکترون کاهش یافته را انتخاب کنید . |
از آنجایی که شما الکترون، یون و جریان خالص جریان در پلاسما را بررسی خواهید کرد، ترتیب عنصر را به 2 برسانید. چگالی جریان از مشتقات فضایی بار حامل درجات آزادی محاسبه می‌شود، بنابراین استفاده از توابع شکل مرتبه 2 دقیق‌تر به دست می‌دهد. مقدار برای چگالی جریان
9 | برای گسترش بخش Discretization کلیک کنید . از لیست فرمولاسیون ، عنصر محدود ، فرمول log ( تابع شکل درجه دوم ) را انتخاب کنید . |
پلاسما مدل 1
1 | در پنجره Model Builder ، روی Plasma Model 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مدل پلاسما ، بخش ورودی مدل را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متنی p A ، p0 را تایپ کنید . |
4 | بخش چگالی و انرژی الکترون را پیدا کنید . در قسمت متن μ e N n ، mueN را تایپ کنید . |
حال نحوه تعیین ضرایب منبع برای تحریک الکترونیکی و یونیزاسیون را تغییر دهید. به طور پیش فرض، COMSOL Multiphysics ضرایب نرخ را بر اساس داده های مقطعی که شما ارائه کرده اید محاسبه می کند. برای تخلیه های DC، ضرایب تاونسند توصیف دقیق تری از ناحیه سقوط کاتد ارائه می دهد، بنابراین باید از آنها استفاده شود. ضرایب تاونسند معمولاً با استفاده از معادله بولتزمن، رابط تقریب دو ترم محاسبه می شود .
2: e+Ar=>e+Ars
1 | در پنجره Model Builder روی 2 کلیک کنید : e+Ar=>e+Ars . |
2 | در پنجره تنظیمات برای واکنش ضربه الکترون ، بخش Collision را پیدا کنید . |
3 | از لیست تعیین واکنش با استفاده ، استفاده از جدول جستجو را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Reaction Parameters را پیدا کنید . از لیست فرم ثابت نرخ ، ضریب Townsend را انتخاب کنید . |
5 | زیربخش داده های ضریب تاونسند را پیدا کنید . روی Load from File کلیک کنید .  |
6 | به پوشه Application Libraries مدل بروید و روی فایل town2.txt دوبار کلیک کنید . |
4: e+Ar=>2e+Ar+
1 | در پنجره Model Builder روی 4 کلیک کنید: e+Ar=>2e+Ar+ . |
2 | در پنجره تنظیمات برای واکنش ضربه الکترون ، بخش Collision را پیدا کنید . |
3 | از لیست تعیین واکنش با استفاده ، استفاده از جدول جستجو را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Reaction Parameters را پیدا کنید . از لیست فرم ثابت نرخ ، ضریب Townsend را انتخاب کنید . |
5 | زیربخش داده های ضریب تاونسند را پیدا کنید . روی Load from File کلیک کنید .  |
6 | به پوشه Application Libraries مدل بروید و روی فایل town4.txt دوبار کلیک کنید . |
واکنش 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Reaction را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Reaction ، بخش Reaction Formula را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Formula text Ars+Ars=>e+Ar+Ar+ را تایپ کنید . |
4 | قسمت Reaction Parameters را پیدا کنید . در قسمت متن k f ، 3.734E8 را تایپ کنید . |
واکنش 2
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Reaction را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Reaction ، بخش Reaction Formula را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Formula text Ars+Ar=>Ar+Ar را تایپ کنید . |
4 | قسمت Reaction Parameters را پیدا کنید . در قسمت متن k f ، 1807 را تایپ کنید . |
گونه: Ar
1 | در پنجره Model Builder ، روی Species: Ar کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گونه ها ، بخش فرمول گونه ها را پیدا کنید . |
3 | چک باکس From mass constraint را انتخاب کنید . |
4 | قسمت General Parameters را پیدا کنید . از لیست داده های گونه های از پیش تعیین شده ، Ar را انتخاب کنید . |
هنگام حل یک مشکل جریان واکنش، همیشه باید یک گونه وجود داشته باشد که برای برآورده کردن محدودیت جرم انتخاب شود. این باید به عنوان گونه ای با بیشترین کسر جرمی در نظر گرفته شود.
گونه: Ars
1 | در پنجره Model Builder ، روی Species: Ars کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گونه‌ها ، بخش General Parameters را پیدا کنید . |
3 | از لیست داده های گونه های از پیش تعیین شده ، Ar را انتخاب کنید . |
هنگام حل یک مشکل پلاسما، پلاسما باید ابتدا خنثی باشد. COMSOL به طور خودکار غلظت اولیه یک گونه یونی انتخاب شده را محاسبه می کند به طوری که محدودیت خنثی الکتریکی برآورده می شود.
گونه: Ar+
1 | در پنجره Model Builder ، روی Species: Ar+ کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گونه ها ، بخش فرمول گونه ها را پیدا کنید . |
3 | تیک گزینه Initial value from electroneutrality constraint را انتخاب کنید . |
4 | قسمت General Parameters را پیدا کنید . از لیست داده های گونه های از پیش تعیین شده ، Ar را انتخاب کنید . |
حالا یک واکنش سطحی اضافه کنید که خنثی شدن یون های آرگون روی الکترود را توصیف می کند. انتشار ثانویه الکترون ها برای حفظ تخلیه مورد نیاز است، بنابراین ضریب انتشار و تخمینی از انرژی متوسط الکترون های ثانویه را بر اساس آستانه انرژی یونیزاسیون و تابع کار سطح وارد کنید.
واکنش سطحی 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Surface Reaction را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Surface Reaction ، بخش Reaction Formula را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Formula text Ar+=>Ar را تایپ کنید . |
4 | فقط مرز 1 را انتخاب کنید. |
ضریب گسیل ثانویه را 0.35 کنید و انرژی متوسط الکترون های ثانویه را انرژی یونیزاسیون (که با عبارت plas.de_4 داده می شود ) منهای دو برابر تابع کاری الکترود قرار دهید.
5 | بخش پارامترهای انتشار ثانویه را پیدا کنید . در قسمت متن γ i ، 0.35 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن ε i ، plas.de_4-2*Wf را تایپ کنید . |
واکنش سطحی 2
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Surface Reaction را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Surface Reaction ، بخش Reaction Formula را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Formula text Ar+=>Ar را تایپ کنید . |
4 | فقط مرز 2 را انتخاب کنید. |
واکنش سطحی 3
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Surface Reaction را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Surface Reaction ، بخش Reaction Formula را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Formula text Ars=>Ar را تایپ کنید . |
4 | در پنجره Graphics کلیک کنید و سپس Ctrl+A را فشار دهید تا هر دو مرز انتخاب شوند. |
دیوار 1
1 | در نوار ابزار فیزیک ، روی  Boundaries کلیک کنید و دیوار را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره Graphics کلیک کنید و سپس Ctrl+A را فشار دهید تا هر دو مرز انتخاب شوند. |
زمین 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Ground را انتخاب کنید . |
2 | فقط مرز 1 را انتخاب کنید. |
تماس فلزی 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Metal Contact را انتخاب کنید . |
2 | فقط مرز 2 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای تماس فلزی ، قسمت ترمینال را پیدا کنید . |
4 | در قسمت متنی V 0 ، V0 را تایپ کنید . |
5 | قسمت تنظیمات مدار را پیدا کنید . از لیست نوع مدار ، مقاومت بالاست را انتخاب کنید . |
6 | در فیلد نوشتاری Rb ، 10000[ohm] را تایپ کنید . |
مش 1
لبه 1
در نوار ابزار Mesh ، روی Edge کلیک کنید .
Edge کلیک کنید .توزیع 1
1 | روی Edge 1 کلیک راست کرده و Distribution را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای توزیع ، بخش توزیع را پیدا کنید . |
3 | از لیست نوع توزیع ، از پیش تعریف شده را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت متنی Number of element ، 200 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن نسبت عنصر ، 50 را تایپ کنید . |
6 | از لیست نرخ رشد ، نمایی را انتخاب کنید . |
7 | چک باکس توزیع متقارن را انتخاب کنید . |
8 |  روی ساخت همه کلیک کنید . |
مطالعه 1
مرحله 1: وابسته به زمان
1 | در پنجره Model Builder ، در بخش مطالعه 1 ، روی Step 1: Time Dependent کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات مربوط به زمان وابسته ، قسمت تنظیمات مطالعه را پیدا کنید . |
3 | در فیلد متنی زمان خروجی ، 0 را تایپ کنید . |
4 |  روی Range کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره‌ای Range ، تعداد مقادیر را از لیست روش ورود انتخاب کنید . |
6 | در قسمت متن شروع ، -8 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت متن توقف ، 0 را تایپ کنید . |
8 | در قسمت متنی Number of values ، 101 را تایپ کنید . |
9 | از تابع برای اعمال در لیست همه مقادیر ، exp10(x) – تابع نمایی (مبنای 10) را انتخاب کنید . |
10 | روی افزودن کلیک کنید . |
11 | در نوار ابزار صفحه اصلی ،  روی محاسبه کلیک کنید . |
نتایج
چگالی الکترون (plas)
1 | در پنجره Settings for 1D Plot Group ، بخش Data را پیدا کنید . |
2 | از لیست انتخاب زمان ، آخرین را انتخاب کنید . |
3 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
4 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، فاصله (m) را تایپ کنید . |
5 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . |
6 |  روی دکمه Zoom Extents در نوار ابزار Graphics کلیک کنید . |
دمای الکترون (Plas)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Electron Temperature (plas) کلیک کنید . |
2 | در پنجره Settings for 1D Plot Group ، بخش Data را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب زمان ، آخرین را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
5 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، فاصله (m) را تایپ کنید . |
6 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . در قسمت متن مربوطه، دمای الکترون (eV) را تایپ کنید . |
7 |  روی دکمه Zoom Extents در نوار ابزار Graphics کلیک کنید . |
پتانسیل الکتریکی (پلاس)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Electric Potential (plas) کلیک کنید . |
2 | در پنجره Settings for 1D Plot Group ، بخش Data را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب زمان ، آخرین را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
5 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، فاصله (m) را تایپ کنید . |
6 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، پتانسیل (V) را تایپ کنید . |
7 |  روی دکمه Zoom Extents در نوار ابزار Graphics کلیک کنید . |
کسر جرمی آرگون هیجان زده
1 | در نوار ابزار صفحه اصلی ، روی  Add Plot Group کلیک کنید و 1D Plot Group را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح 1 بعدی ، Excited Argon Mass Fraction را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
3 | قسمت Data را پیدا کنید . از لیست انتخاب زمان ، آخرین را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
5 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، فاصله (m) را تایپ کنید . |
6 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . در قسمت متن مرتبط، کسر جرمی آرگون برانگیخته (1) را تایپ کنید . |
نمودار خطی 1
1 | روی Excited Argon Mass Fraction کلیک راست کرده و Line Graph را انتخاب کنید . |
2 | فقط دامنه 1 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای نمودار خط ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش y-Axis Data کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Plasma>Mass fractions>plas.wArs – Mass fraction را انتخاب کنید . |
4 | در نوار ابزار Excited Argon Mass Fraction ، روی  Plot کلیک کنید . |
چگالی عدد یون آرگون
1 | در نوار ابزار صفحه اصلی ، روی  Add Plot Group کلیک کنید و 1D Plot Group را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح 1 بعدی ، تراکم عدد یون آرگون را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Data را پیدا کنید . از لیست انتخاب زمان ، آخرین را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
5 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . در فیلد متن مرتبط، فاصله (m) را تایپ کنید . |
6 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . در قسمت متن مرتبط، چگالی عدد یون آرگون (1/m<sup>3</sup>) را تایپ کنید . |
نمودار خطی 1
1 | روی Argon Ion Number Density کلیک راست کرده و Line Graph را انتخاب کنید . |
2 | فقط دامنه 1 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای نمودار خط ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش y-Axis Data کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Plasma>Number densities>plas.n_wAr_1p – Number density – 1/m³ را انتخاب کنید . |
4 | در نوار ابزار Argon Ion Number Density ، روی  Plot کلیک کنید . |
چگالی جریان
1 | در پنجره Model Builder ، روی Argon Ion Number Density کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح 1 بعدی ، تراکم جریان را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
3 | برای گسترش بخش عنوان کلیک کنید . از لیست نوع عنوان ، هیچکدام را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . در قسمت نوشتاری برچسب محور y ، تراکم جریان (A/m<sup>2</sup>) را تایپ کنید . |
5 | قسمت Legend را پیدا کنید . از لیست موقعیت ، سمت چپ بالا را انتخاب کنید . |
نمودار خطی 1
1 | در پنجره Model Builder ، گره Current Density را گسترش دهید ، سپس روی Line Graph 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار خط ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش y-Axis Data کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Plasma>Current>Electron current density – A/m²>plas.Jelx – چگالی جریان الکترون ، جزء x را انتخاب کنید . |
3 | برای گسترش بخش کیفیت کلیک کنید . از لیست Resolution ، بدون پالایش را انتخاب کنید . |
4 | از فهرست بازیابی ، درون دامنه‌ها را انتخاب کنید . |
5 | برای گسترش بخش Legends کلیک کنید . تیک Show legends را انتخاب کنید . |
6 | از لیست Legends ، Manual را انتخاب کنید . |
7 | در نوار ابزار Current Density ، روی  Plot کلیک کنید . |
8 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
افسانه ها |
چگالی جریان الکترون |
نمودار خط 2
1 | روی Results>Current Density>Line Graph 1 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار خط ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش y-Axis Data کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Plasma>Species>Species wAr_1p>Ion current density – A/m²>plas.Jix_wAr_1p – چگالی جریان یون ، x جزء را انتخاب کنید . |
3 | در نوار ابزار Current Density ، روی  Plot کلیک کنید . |
4 | قسمت Legends را پیدا کنید . در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
افسانه ها |
چگالی جریان یونی |
نمودار خط 3
1 | روی Line Graph 1 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار خط ، بخش y-Axis Data را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Expression ، plas.Jix_wAr_1p+plas.Jelx را تایپ کنید . |
4 | قسمت Legends را پیدا کنید . در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
افسانه ها |
چگالی جریان کل |
5 | در نوار ابزار Current Density ، روی  Plot کلیک کنید . |
