 |
تجزیه و تحلیل کششی و خروجی یک تشدیدگر مغرضانه – دو بعدی
معرفی
تشدید کننده‌های میکرومکانیکی سیلیکونی مدت‌هاست که برای طراحی حسگرها استفاده می‌شوند و اکنون به عنوان نوسانگرها در بازار لوازم الکترونیکی مصرفی اهمیت فزاینده‌ای پیدا کرده‌اند. در این دنباله از مدل ها، یک تشدید کننده MEMS میکروماشین کاری شده سطحی که به عنوان بخشی از یک فیلتر میکرومکانیکی طراحی شده است، به تفصیل تجزیه و تحلیل می شود. تشدید کننده بر اساس آنچه در Ref. 1 .
این مدل ولتاژ خروجی و خروجی تشدید کننده را محاسبه می کند. این از طریق تجزیه و تحلیل شبه استاتیکی مسیر جابجایی ولتاژ در دامنه کامل حرکت، از حالت شل اولیه تا حالت صاف کشیده شده انجام می شود. تجزیه و تحلیل تجزیه و تحلیل کششی انجام شده در مدل همراه ولتاژ کششی برای تشدید کننده بایاس – 2 بعدی را گسترش می دهد . لطفا ابتدا این مدل را بررسی کنید
تعریف مدل
هندسه، ساخت، و عملکرد دستگاه برای تحلیل ثابت یک تشدیدگر مغرضانه – مدل دوبعدی مورد بحث قرار گرفته است.
این مدل با حل یک مسئله معکوس، ولتاژ کششی را برای تشدیدگر محاسبه می کند. مختصات y یک نقطه مرجع در تشدید کننده با استفاده از یک عملگر ادغام ( intop1 ) محاسبه می شود. به جای نقطه میانی، نقطه مرجع 10 میکرومتر خارج از مرکز انتخاب می شود ( شکل 1 )، به طوری که موقعیت y آن به آرامی در کل دامنه حرکت پرتو کنسول تغییر می کند. مسئله معکوس که COMSOL حل می کند، ولتاژ DC را محاسبه می کند که باید به پرتو اعمال شود تا نقطه مرجع را به یک مجموعه مختصات y ، yset منتقل کند . این با اضافه کردن یک معادله جهانی برای ولتاژ DC، VdcSP ، اعمال شده به تشدید کننده به دست می آید. معادله intop1(y)-yset=0برای تعیین مقدار VdcSP حل شده است . این بدان معنی است که VdcSP تا زمانی تنظیم می شود که نقطه میانی تشدید کننده دارای یک مختصات y باشد که با مقدار مجموعه، yset . اساساً از COMSOL خواسته می شود تا ولتاژی را بیابد که به پرتو اجازه می دهد در یک جابجایی معین در حالت تعادل (پایدار یا ناپایدار) وجود داشته باشد. حل مشکل به این روش از پیچیدگی های تلاش برای حل یک مشکل بدون راه حل جلوگیری می کند (این اتفاقی می افتد اگر ولتاژ به طور مداوم افزایش یابد و در نهایت از ولتاژ کششی بیشتر شود). نتیجه آنالیز یک نمودار جابجایی در مقابل ولتاژ است که از آن می توان ولتاژهای کششی و خروجی را خواند.
از ویژگی Contact برای شبیه سازی تماس بین پرتو کنسول و پایه تشدید کننده استفاده می شود. یک افست کوچک در ویژگی تماس برای نشان دادن یک لایه اکسید نازک استفاده می شود که از کوتاه شدن الکترود جلوگیری می کند و همچنین برای جلوگیری از فروپاشی مش در حوزه هوا در مدل.
.
شکل 1: نقطه مرجع 10 میکرومتر خارج از مرکز انتخاب شده است، به طوری که موقعیت y آن به آرامی در کل دامنه حرکت پرتو کنسول تغییر می کند.
نتایج و بحث
شکل 2 تغییر شکل پرتو کنسول را هنگامی که پس از کشش به طور کامل روی سطح پایه تشدید کننده صاف می شود نشان می دهد. نسبت تصویر به صورت خودکار تغییر می کند تا شکل پرتو صاف شده به راحتی دیده شود.
شکل 2: تغییر شکل تیر کاملاً مسطح شده. نسبت تصویر به اتوماتیک تغییر یافته است.
شکل 3: مختصات y در مقابل ولتاژ در کل دامنه حرکت.
شکل 3 مختصات y نقطه مرجع (آبی) و نقطه مرکزی (سبز) را در مقابل ولتاژ اعمال شده در کل دامنه حرکت پرتوی کنسولنشان می دهدولتاژ کشش حدود 63 ولت و ولتاژ خروجی حدود 12.5 ولت است، همانطور که از شکل قابل خواندن است و با خطوط عمودی نقطه چین در شکل نشان داده شده است.
نکاتی درباره پیاده سازی COMSOL
برای محاسبه ولتاژ مورد نیاز برای ایجاد تغییر مکان مورد نظر پرتو، از یک معادله جهانی استفاده کنید. استفاده رایج از معادلات جهانی برای محاسبه مقدار یک متغیر وابسته بر اساس یک معادله دیفرانسیل معمولی در خود متغیر وابسته است. با این حال، می توان یک معادله جهانی را با سایر PDE ها در مدل به عنوان ابزاری قدرتمند برای حل انواع خاصی از مسائل معکوس جفت کرد. این مدل از یک معادله جهانی برای محاسبه پتانسیل اعمال شده به الکترود محرک استفاده می کند. معادله شکل می گیرد
که در آن y 0 مختصات y نقطه میانی قسمت زیرین تیر و مجموعه y مختصات y مورد نظر است . علاوه بر این، معادله با مجموعه y مقیاس بندی می شود تا مقیاس کلی وحدت داشته باشد. COMSOL Multiphysics ولتاژ را برای برآوردن محدودیتی که در معادله فوق القا می کند محاسبه می کند.
ارجاع
1. FD Bannon III، JR Clark و CT-C. نگوین، «فیلترهای میکروالکترومکانیکی HFHigh-Q»، مجله IEEE مدارهای حالت جامد، جلد. 35، شماره 4، صص 512-526، 2000.
مسیر کتابخانه برنامه: MEMS_Module/Actuators/biased_resonator_2d_pull_in_pull_out
دستورالعمل مدلسازی
از مدل کششی موجود شروع کنید.
کتابخانه های کاربردی
1 | از منوی File ، Application Libraries را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره Application Libraries ، MEMS Module>Actuators>biased_resonator_2d_pull_in را در درخت انتخاب کنید. |
3 |  روی Open کلیک کنید . |
یک اتحادیه برای انتخاب دامنه Electrostatics ایجاد کنید.
هندسه 1
حوزه های الکترواستاتیک
1 | در پنجره Model Builder ، گره Component 1 (comp1) را گسترش دهید . |
2 | روی Component 1 (comp1)>Geometry 1 کلیک راست کرده و Booleans and Partitions>Union را انتخاب کنید . |
3 | در پنجره تنظیمات برای Union ، دامنه های Electrostatics را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
4 | فقط شی را انتخاب کنید. |
5 | در پنجره Graphics کلیک کنید و سپس Ctrl+A را فشار دهید تا همه اشیا انتخاب شوند. |
6 | قسمت Selections of Resulting Entities را پیدا کنید . تیک گزینه Resulting objects selection را انتخاب کنید . |
انتخاب هایی برای مرزهای الکترود و مرزهای مقصد ویژگی تماس ایجاد کنید.
تماس با مقصد
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب جعبه ، مقصد تماس را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت متن x حداقل ، -11 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن x حداکثر ، 11 را تایپ کنید . |
6 | در فیلد متن حداقل y ، 0.1 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت متن حداکثر y ، 0.3 را تایپ کنید . |
8 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
الکترود
1 | روی مخاطب مقصد کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، در قسمت Label text Electrode را تایپ کنید . |
3 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت حداقل y متن، -0.1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن حداکثر y ، 0.1 را تایپ کنید . |
ما از ویژگی تماس برای کمک به شبیه‌سازی پیکربندی پرتوی کنسولی که پس از انجام pull-in روی پایه تشدید کننده می‌خورد، استفاده خواهیم کرد. برای اینکه ویژگی Contact به درستی کار کند، یک دامنه ساختگی برای پایه ثابت رزوناتور ایجاد کنید.
پایه ثابت
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Geometry 1 روی Rectangle 2 (r2) راست کلیک کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، در قسمت نوشتار Label، Fixed base را تایپ کنید . |
3 | قسمت Size and Shape را پیدا کنید . در قسمت متن Width ، 22.5*2 را تایپ کنید . |
4 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن y ، -0.1985 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Selections of Resulting Entities را پیدا کنید . تیک گزینه Resulting objects selection را انتخاب کنید . |
انتخابی برای مرزهای منبع ویژگی تماس ایجاد کنید.
منبع تماس
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Geometry 1 روی Electrode (boxsel2) کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب جعبه ، منبع تماس را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Input Entities را پیدا کنید . از لیست Entities ، از انتخاب ها را انتخاب کنید . |
4 | روی Build Preceding State کلیک کنید . |
5 |  روی افزودن کلیک کنید . |
6 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، فیکس پایه را در لیست انتخاب‌ها انتخاب کنید . |
7 | روی OK کلیک کنید . |
8 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
9 | در قسمت حداقل متن x ، -Inf را تایپ کنید . |
10 | در قسمت متن حداکثر x ، Inf را تایپ کنید . |
برای اینکه ویژگی Contact به درستی کار کند، تشکیل یک مجموعه را انتخاب کنید، به طوری که حوزه های Electrostatics (شامل پرتوی کنسول) و دامنه پایه ثابت به عنوان اجسام هندسی متمایز باقی بمانند.
فرم اتحادیه (فین)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Geometry 1 روی Form Union (fin) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات Form Union/Assembly ، بخش Form Union/Assembly را پیدا کنید . |
3 | از لیست Action ، Form an assembly را انتخاب کنید . |
4 | تیک Create Pairs را پاک کنید . |
5 | در نوار ابزار Geometry ، روی  ساختن همه کلیک کنید . |
یک جفت تماس برای جفت مرزهایی که با کشیده شدن تیر کنسول به داخل و صاف شدن روی سطح پایه ثابت در تماس قرار می گیرند، اضافه کنید.
تعاریف
جفت تماس 1 (p1)
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جفت ها کلیک کنید و جفت تماس را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای جفت ، قسمت Source Boundaries را پیدا کنید . |
3 | از فهرست انتخاب ، منبع تماس را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Destination Boundaries را پیدا کنید . از لیست انتخاب ، مقصد تماس را انتخاب کنید . |
برای این آموزش، می‌خواهیم کل دامنه حرکت پرتوی کنسول را از حالت شل اولیه تا حالت کاملاً مسطح کشیده شده ردیابی کنیم. در این مورد، نقطه وسط تیر نقطه مرجع خوبی برای موقعیت y نیست، زیرا ابتدا با سطح پایه ثابت تماس می گیرد و در همان موقعیت باقی می ماند در حالی که بقیه تیر هنوز از طریق کشش عبور می کند. در حرکت. بهتر است نقطه ای از یک طرف پرتو را به عنوان مرجع موقعیت y انتخاب کنید تا موقعیت آن در تمام دامنه حرکت تغییر کند.
ادغام 1 (در اول)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Integration 1 (intop1) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای ادغام ، بخش انتخاب منبع را پیدا کنید . |
3 |  روی Clear Selection کلیک کنید . |
4 | فقط نقطه 9 را انتخاب کنید.  |
برای اهداف رسم، عملگر ادغام را برای نقطه میانی به عقب اضافه کنید.
ادغام 2 (intop2)
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  Nonlocal Couplings کلیک کرده و Integration را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای ادغام ، بخش انتخاب منبع را پیدا کنید . |
3 | از لیست سطح نهاد هندسی ، نقطه را انتخاب کنید . |
4 | فقط نقطه 12 را انتخاب کنید. |
دامنه پایه ثابت را به انتخاب رابط فیزیک مکانیک جامدات اضافه کنید. سپس کاری کنید که حرکت نکند.
مکانیک جامدات (جامدات)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Solid Mechanics (solid) کلیک کنید . |
2 | فقط دامنه های 1، 3، 5، 7 و 9 را انتخاب کنید. |
محدودیت ثابت 2
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Fixed Constraint را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای محدودیت ثابت ، قسمت انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، پایه ثابت را انتخاب کنید . |
یک ویژگی تماس را به رابط فیزیک مکانیک جامدات اضافه کنید. روش تماس پنالتی را انتخاب کنید زیرا روش لاگرانژی پیش‌فرض برای حل‌کننده‌های کاملاً جفت شده توصیه نمی‌شود. از گزینه Offset برای شبیه سازی لایه ای از اکسید نازک استفاده کنید که پرتوی کنسول را از الکترود پایه ثابت جدا می کند.
تماس با 1a
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Pairs کلیک کنید و Contact را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مخاطب ، بخش انتخاب جفت را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Pairs ، روی  افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره ای افزودن ، جفت تماس 1 (p1) را در لیست جفت ها انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای مخاطب ، برای گسترش بخش Offset و Adjustment سطح تماس کلیک کنید . |
7 | در قسمت متنی d offset, d 8[nm] را تایپ کنید . |
انتخاب ویژگی های Electrostatics را تنظیم کنید.
الکترواستاتیک (ES)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Electrostatics (es) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای الکترواستاتیک ، بخش انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، دامنه های الکترواستاتیک را انتخاب کنید . |
پتانسیل الکتریکی 1
1 | در پنجره Model Builder ، گره Electrostatics (es) را گسترش دهید ، سپس روی Electric Potential 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای پتانسیل الکتریکی ، قسمت انتخاب مرز را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، الکترود را انتخاب کنید . |
مش را با سرعت متعادل، اندازه فایل و دقت تنظیم کنید. اگر یک نتیجه بسیار دقیق از حالت مسطح نهایی مورد توجه است، آنگاه مطالعه پالایش مش بیشتر توصیه می شود.
مش 1
در پنجره Model Builder ، گره Component 1 (comp1)>Mesh 1 را گسترش دهید .
توزیع 1
1 | در پنجره Model Builder ، گره Component 1 (comp1)>Mesh 1>Mapped 1 را گسترش دهید ، سپس روی Distribution 1 کلیک کنید . |
2 | فقط مرزهای 14 و 19 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای توزیع ، بخش توزیع را پیدا کنید . |
4 | در قسمت متنی Number of element ، عدد 30 را تایپ کنید . |
توزیع 2
1 | در پنجره Model Builder ، روی توزیع 2 کلیک کنید . |
2 | فقط مرزهای 5، 7، 9 و 24 را انتخاب کنید. |
توزیع 3
1 | در پنجره Model Builder ، روی Mapped 1 کلیک راست کرده و Distribution را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای توزیع ، قسمت انتخاب مرز را پیدا کنید . |
3 | از فهرست انتخاب ، منبع تماس را انتخاب کنید . |
4 | بخش توزیع را پیدا کنید . در قسمت متنی Number of Elements عدد 50 را تایپ کنید . |
5 |  روی ساخت همه کلیک کنید . |
دامنه حرکت کمکی را افزایش دهید تا کل دامنه حرکت پرتو را پوشش دهد.
کشش در – محدوده کامل
1 | در پنجره Model Builder ، روی Pull In کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مطالعه ، Pull In – Full Range را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
مرحله 1: ثابت
1 | در پنجره Model Builder ، گره Pull In – Full Range را گسترش دهید ، سپس روی Step 1: Stationary کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Stationary ، بخش Study Extensions را پیدا کنید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
نام پارامتر | لیست مقادیر پارامتر | واحد پارامتر |
yset (تنظیم نقطه y مختصات) | محدوده (198، -5، 93) محدوده (90، -1، 82) محدوده (78، -5، 18) | نانومتر |
محاسبه کنید.
4 | در نوار ابزار صفحه اصلی ،  روی محاسبه کلیک کنید . |
نسبت ابعاد نمودار جابجایی را تغییر دهید تا وضعیت صاف شده کاملاً کشیده شده را با جزئیات نشان دهید.
نتایج
کشش در جابجایی
1 | در پنجره Settings for 2D Plot Group ، قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
2 | از لیست View ، نمای جدید را انتخاب کنید . |
3 | در نوار ابزار Pull In Displacement ، روی  Plot کلیک کنید . |
4 |  برو به منبع کلیک کنید . |
محور
1 | در پنجره Model Builder ، گره View 2D 2 را گسترش دهید ، سپس روی Axis کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Axis ، بخش Axis را پیدا کنید . |
3 | از فهرست نمایش مقیاس ، خودکار را انتخاب کنید . |
4 |  روی Update کلیک کنید . |
5 |  روی دکمه Zoom Extents در نوار ابزار Graphics کلیک کنید . |
کشش در جابجایی
1 | در پنجره Model Builder ، در بخش Results روی Pull In Displacement کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح دو بعدی ، روی Plot Last کلیک کنید .   |
محورهای Pull In Plot را بچرخانید تا موقعیت عمودی (y) روی محور عمودی و ولتاژ بر روی محور افقی ترسیم شود.
Pull In/Out Plot
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Results روی Pull In Plot کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح 1 بعدی ، Pull In/Out Plot را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
3 | برای گسترش بخش عنوان کلیک کنید . از لیست نوع عنوان ، دستی را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت متن عنوان ، Pull In/Out Plot را تایپ کنید . |
5 | قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
6 | کادر بررسی برچسب محور y را انتخاب کنید . در قسمت متن مرتبط، y-position (nm) را تایپ کنید . |
جهانی 1
1 | در پنجره Model Builder ، گره Pull In/Out Plot را گسترش دهید ، سپس روی Global 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای جهانی ، بخش y-Axis Data را پیدا کنید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
اصطلاح | واحد | شرح |
yset | نانومتر | نقطه تنظیم |
در بالای 2 (y) | نانومتر | نقطه وسط |
4 | قسمت x-Axis Data را پیدا کنید . در قسمت متن Expression ، abs(VdcSP)[V] را تایپ کنید . |
5 | چک باکس Description را انتخاب کنید . در قسمت متن مربوطه، Voltage را تایپ کنید . |
برای نشان دادن رویدادهای کشش و بیرون کشیدن، حاشیه نویسی اضافه کنید. مختصات ترانزیشن های pull-in و pull-out را در یک فایل متنی وارد کنید. سپس فایل را به یک جدول وارد کنید تا انتقال ها را با استفاده از نمودارهای جدول ترسیم کنید.
میز 1
1 | در نوار ابزار نتایج ، روی  جدول کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جدول ، بخش داده را پیدا کنید . |
3 | روی Import کلیک کنید . |
4 | به پوشه Application Libraries مدل بروید و روی فایل biased_resonator_2d_pull_in_pull_out_table.txt دوبار کلیک کنید . |
Pull In/Out Plot
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Results روی Pull In/Out Plot کلیک کنید . |
2 | در پنجره Settings for 1D Plot Group ، قسمت Plot Settings را پیدا کنید . |
3 | چک باکس x-axis label را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Legend را پیدا کنید . از لیست موقعیت ، دستی را انتخاب کنید . |
5 | در قسمت متن x-position ، 30/65 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن y-position ، 150/200 را تایپ کنید . |
نمودار جدول 1
1 | روی Pull In/Out Plot کلیک راست کرده و Table Graph را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار جدول ، بخش داده را پیدا کنید . |
3 | از لیست داده های محور x ، ستون 1 را انتخاب کنید . |
4 | از فهرست ستون‌های Plot ، Manual را انتخاب کنید . |
5 | در لیست ستون ها ، ستون 2 را انتخاب کنید . |
6 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . زیربخش Line style را پیدا کنید . از لیست خط ، نقطه نقطه را انتخاب کنید . |
7 | از لیست رنگ ، آبی را انتخاب کنید . |
نمودار جدول 2
1 | روی Table Graph 1 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار جدول ، بخش داده را پیدا کنید . |
3 | از لیست داده های محور x ، ستون 3 را انتخاب کنید . |
4 | در لیست ستون ها ، ستون 4 را انتخاب کنید . |
5 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . از لیست رنگ ، سبز را انتخاب کنید . |
نمودار جدول 3
1 | روی Table Graph 2 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار جدول ، بخش داده را پیدا کنید . |
3 | از لیست داده های محور x ، ستون 5 را انتخاب کنید . |
4 | در لیست ستون ها ، ستون 6 را انتخاب کنید . |
5 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . از لیست رنگ ، آبی را انتخاب کنید . |
نمودار جدول 4
1 | روی Table Graph 3 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای نمودار جدول ، بخش داده را پیدا کنید . |
3 | از لیست داده های محور x ، ستون 7 را انتخاب کنید . |
4 | در لیست ستون ها ، ستون 8 را انتخاب کنید . |
5 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . از لیست رنگ ، سبز را انتخاب کنید . |
حاشیه نویسی 1
1 | در پنجره Model Builder ، روی Pull In/Out Plot کلیک راست کرده و Annotation را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حاشیه نویسی ، بخش حاشیه نویسی را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن ، $\longleftarrow$ Pull-in را تایپ کنید . |
4 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن x ، 64.5 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن y عدد 65 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Annotation را پیدا کنید . کادر علامت گذاری LaTeX را انتخاب کنید . |
7 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . تیک Show point را پاک کنید . |
8 | از لیست نقطه لنگر ، مرکز را انتخاب کنید . |
9 | از لیست جهت ، عمودی را انتخاب کنید . |
حاشیه نویسی 2
1 | روی Annotation 1 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حاشیه نویسی ، بخش حاشیه نویسی را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Text ، Pull-out $\longrightarrow$ را تایپ کنید . |
4 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن x ، 11.2 را تایپ کنید . |
حاشیه نویسی 3
1 | روی Annotation 2 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حاشیه نویسی ، بخش حاشیه نویسی را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Text ، عبارت Increase Voltage $\longrightarrow$ را تایپ کنید . |
4 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن x ، 47 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن y ، 195 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . از لیست Orientation ، Horizontal را انتخاب کنید . |
حاشیه نویسی 4
1 | روی Annotation 3 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حاشیه نویسی ، بخش حاشیه نویسی را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن ، $\longleftarrow$ Decrease voltage را تایپ کنید . |
4 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن y عدد 15 را تایپ کنید . |
5 | در نوار ابزار Pull In/Out Plot ، روی  Plot کلیک کنید . |
