 |
تجزیه و تحلیل ثابت یک تشدیدگر مغرضانه – سه بعدی
معرفی
تشدید کننده‌های میکرومکانیکی سیلیکونی مدت‌هاست که برای طراحی حسگرها استفاده می‌شوند و اکنون به عنوان نوسانگرها در بازار لوازم الکترونیکی مصرفی اهمیت فزاینده‌ای پیدا کرده‌اند. این دنباله از مدل ها به طور مفصل یک تشدید کننده MEMS میکروماشین شده سطحی را که به عنوان بخشی از یک فیلتر میکرومکانیکی طراحی شده است، تجزیه و تحلیل می کند. تشدید کننده بر اساس آنچه در Ref. 1 .
این مدل یک تحلیل ثابت از تشدید کننده را با یک بایاس DC اعمال می کند. این به عنوان پایه ای برای تمام تحلیل های بعدی عمل می کند.
تعریف مدل
این مدل از یک تشدید کننده پلی سیلیکونی تشکیل شده است که از طریق فرآیند میکروماشین کاری سطحی ساخته می شود. در ابتدا، یک ویفر سیلیکونی با 0.75 میکرومتر اکسید و 0.15 میکرومتر نیترید سیلیکون پوشانده می شود تا قطعات میکروماشین شده از صفحه زمین ویفر جدا شود. الکترودهای پلی سیلیکون با ضخامت 0.3 میکرومتر در مرحله بعدی قرار می گیرند. سپس لایه ای از اکسید به ضخامت 198.5 نانومتر رسوب می کند. توجه داشته باشید که در Ref. 1 اکسید قربانی در واقع 1.3 μ استمتر، اما ضخامت شکاف به این مقدار برای اهداف شبیه‌سازی تنظیم شد تا لایه تخلیه در سیلیکون را در نظر بگیرد. این مدل از همان تنظیم استفاده می‌کند تا شبیه‌سازی‌ها را به‌طور مستقیم با شبیه‌سازی‌های ارائه‌شده در مقاله مقایسه کند. سوراخ ها در لایه قربانی حک می شوند (برای ایجاد نقاط لنگر برای تشدید کننده) و پلی سیلیکون ساختاری با ضخامت 1.9 میکرومتر رسوب می کند .
این سازه دارای صفحه تقارن است، بنابراین می توان تنها نیمی از هندسه را به طور صریح مدل کرد، اگرچه قبل از انجام تحلیل مودال باید دقت شود که هندسه آینه شود. شکل 1 هندسه را نشان می دهد.
شکل 1: بالا: هندسه دستگاه. خود ویفر به صراحت نشان داده نمی شود، اما در مدل با صفحه زمین در قسمت زیرین هندسه نشان داده می شود. پایین: هندسه مدل همانطور که در COMSOL ظاهر می شود.
لایه های مواد ته نشین شده از سطح زمین به بالا عبارتند از: اکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون (بیش از حد نازک برای دیدن واضح)، الکترودهای پلی سیلیکون / شکاف هوا (اکسید قربانی حکاکی شده)، تشدید کننده پلی سیلیکون، و هوا.
در حین کار، هم تشدید کننده سیلیکونی و هم ویفر زیرین به زمین متصل می شوند و یک ولتاژ الکتریکی به الکترود محرک اعمال می شود که توسط صفحه تقارن به دو نیم تقسیم می شود.
به طور معمول یک بایاس DC 35 ولت در عملکرد عادی دستگاه اعمال می شود. فرض بر این است که پلی سیلیکون هادی کامل است، بنابراین ولتاژ بایاس را می توان با استفاده از ویژگی ترمینال دامنه بر روی تشدید کننده اعمال کرد، که بسیار ساده تر از انتخاب مرزهای زیاد برای تنظیم پتانسیل الکتریکی روی آنها است.
در این مدل، تغییر شکل سازه با بایاس DC اعمال شده محاسبه می‌شود. توجه داشته باشید که اکسید سیلیکون و نیترید برای شبیه‌سازی مکانیک جامدات صلب فرض می‌شوند، بنابراین ساختار در پایه الکترود آن لنگر می‌یابد و این حوزه‌ها در معادلات مکانیک جامدات گنجانده نشده‌اند.
نیروهای الکترومکانیکی
در خلاء یا رسانه های دیگر، نیروهای بین اجسام باردار را می توان با این فرض محاسبه کرد که یک حالت تنش ساختگی در میدان وجود دارد. تانسور استرس الکترومغناطیسی یا ماکسول را می توان برای محاسبه تنش های القایی در یک ماده در نتیجه میدان الکتریکی و همچنین نیروهای سطحی اعمال شده بر اجسام در هوا یا خلاء استفاده کرد. در این مدل، فرض بر این است که پلی سیلیکون به اندازه کافی دوپ شده است که بتوان آن را به عنوان یک هادی کامل در نظر گرفت. میدان الکتریکی در داخل تشدیدگر صفر فرض می شود، به این معنی که تانسور تنش ماکسول در داخل ماده صفر است و هیچ نیروی الکتریکی حجمی وجود ندارد. تانسور تنش ماکسول در محیط اطراف تشدید کننده، جایی که میدان الکتریکی غیر صفر است ( مرجع 2 ) است.
نیروی خالص روی سطح معمولاً از ناپیوستگی تانسور تنش در سطح مشترک ایجاد می شود. با این حال، به دلیل نامطلوب بودن اعمال یک عبارت تنش در سرتاسر خلاء، نیرو فقط روی سطح تشدیدگر محاسبه می‌شود و توسط گره واسط الکترومکانیکی اعمال می‌شود. نیروی سطحی توسط
که در آن n 1 سطح نرمال است که از بدنه مکانیکی نشان می دهد.
نتایج و بحث
شکل 2 جابجایی z سازه را با بایاس DC اعمال شدهنشان می دهدهمانطور که انتظار می رود جابجایی ساختاری در صفحه تقارن در مرکز دستگاه حداکثر است. حداکثر جابجایی 13 نانومتر است. سطوح هم سطح پتانسیل الکتریکی نیز در شکل 2 نشان داده شده است . همانطور که انتظار می رود، ایزوبارها بین تشدید کننده و الکترود به طور یکنواخت و نزدیک به هم توزیع شده اند. این مربوط به ناحیه ای از میدان الکتریکی یکنواخت است. در اطراف الکترود میدان های حاشیه ای نیز دیده می شود. توجه داشته باشید که سطح تشدید کننده کاملاً زمینی فرض می شود. این نتیجه شرایط مرزی بالقوه استفاده شده است و معادل این فرض است که پلی سیلیکون یک رسانای کامل است.
شکل 2: تغییر مکان z رزوناتور به عنوان تابعی از موقعیت. حداکثر جابجایی در مرکز تشدید کننده، بلافاصله روی الکترود بایاس رخ می دهد. سطوح هم سطح پتانسیل الکتریکی با مقادیر 10 ولت (سبز)، 20 ولت (زرد) و 30 ولت (قرمز) نیز نشان داده شده است.
منابع
1. FD Bannon III، JR Clark و CT-C. نگوین، «فیلترهای میکروالکترومکانیکی HFHigh-Q»، مجله IEEE مدارهای حالت جامد، جلد. 35، شماره 4، صص 512-526، 2000.
2. JA Stratton، نظریه الکترومغناطیسی ، McGraw-Hill، نیویورک، 1941.
مسیر کتابخانه برنامه: MEMS_Module/Actuators/biased_resonator_3d_basic
دستورالعمل مدلسازی
از منوی File ، New را انتخاب کنید .
جدید
در پنجره جدید ، روی 
Model Wizard کلیک کنید .
Model Wizard کلیک کنید .مدل جادوگر
1 | در پنجره Model Wizard ، روی  3D کلیک کنید . |
2 | در درخت Select Physics ، Structural Mechanics>Electromagnetics-Structure Interaction>Electromechanics>Electromechanics را انتخاب کنید . |
3 | روی افزودن کلیک کنید . |
4 |  روی مطالعه کلیک کنید . |
5 | در درخت انتخاب مطالعه ، General Studies>Stationary را انتخاب کنید . |
6 |  روی Done کلیک کنید . |
هندسه 1
برای راحتی، هندسه دستگاه از یک فایل موجود درج شده است. می‌توانید دستورالعمل‌های ایجاد هندسه را در ضمیمه — دستورالعمل‌های مدلسازی هندسه بخوانید .
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی Insert Sequence کلیک کنید و Insert Sequence را انتخاب کنید . |
2 | به پوشه Application Libraries مدل بروید و روی فایل biased_resonator_3d_geom_sequence.mph دوبار کلیک کنید . |
3 | در نوار ابزار Geometry ، روی  ساختن همه کلیک کنید . |
یک پارامتر برای بایاس DC اعمال شده اضافه کنید.
تعاریف جهانی
پارامترهای 1
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Global Definitions روی Parameters 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای پارامترها ، بخش پارامترها را پیدا کنید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
نام | اصطلاح | ارزش | شرح |
وی دی سی | 35 [V] | 35 V | ولتاژ بایاس DC |
انتخاب هایی را برای تسهیل تنظیم آسان شرایط مرزی ایجاد کنید.
تعاریف
همه دامنه ها
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  Explicit کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Explicit ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | تیک همه دامنه ها را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت نوشتار برچسب ، همه دامنه‌ها را تایپ کنید . |
هواپیمای زمینی
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت حداقل متن z ، -2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن z ، -1 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
6 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
7 | در قسمت نوشتار Label ، Ground Plane را تایپ کنید . |
اکسید
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت حداقل متن z ، -1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.9 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت Label text، Oxide را تایپ کنید . |
نیترید
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت حداقل متن z ، -0.4 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.35 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت نوشتار Label ، Nitride را تایپ کنید . |
الکترود
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن x حداقل ، -0.1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن حداکثر x ، 0.1 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت حداقل y متن، -4.2 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت حداقل متن z ، -0.15 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.1 را تایپ کنید . |
8 | در قسمت Label text، Electrode را تایپ کنید . |
توپ 1
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  توپ/دیسک کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات توپ ، بخش مرکز توپ را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن z ، 1 را تایپ کنید . |
4 | قسمت Ball Radius را پیدا کنید . در قسمت متن Radius ، 0.1 را تایپ کنید . |
جعبه 5
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن حداکثر y ، 4.8 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداقل متن z ، -0.35 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت حداکثر متن z ، 0.05 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
جعبه 6
1 | روی جعبه 5 کلیک راست کرده و Duplicate را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت حداقل متن x ، -15 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن x ، 15 را تایپ کنید . |
طنین انداز
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  تفاوت کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Selections to add ، روی  Add کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای افزودن ، توپ 1 و کادر 5 را انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
7 | در قسمت انتخاب‌ها برای تفریق ، روی  افزودن کلیک کنید . |
8 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، کادر 6 را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
9 | روی OK کلیک کنید . |
10 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، Resonator را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
PolySi
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  Union کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Union ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Selections to add ، روی  Add کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست Selections to add ، Electrode and Resonator را انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای Union ، PolySi را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
هوا
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  تفاوت کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت Selections to add ، روی  Add کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، همه دامنه‌ها را در لیست انتخاب‌ها برای افزودن انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
7 | در قسمت انتخاب‌ها برای تفریق ، روی  افزودن کلیک کنید . |
8 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق ، Oxide ، Nitride و PolySi را انتخاب کنید . |
9 | روی OK کلیک کنید . |
10 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، Air را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
مرزهای تشدید کننده
1 | در نوار ابزار تعاریف ،  روی مجاور کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت انتخاب‌های ورودی ، روی افزودن کلیک کنید .  |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، Resonator را در لیست انتخاب‌های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، Resonator Boundaries را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
مرزهای الکترود
1 | در نوار ابزار تعاریف ،  روی مجاور کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت انتخاب‌های ورودی ، روی افزودن کلیک کنید .  |
4 | در کادر محاوره ای افزودن ، الکترود را در لیست انتخاب های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، Electrode Boundaries را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
مرزهای نیترید
1 | در نوار ابزار تعاریف ،  روی مجاور کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت انتخاب‌های ورودی ، روی افزودن کلیک کنید .  |
4 | در کادر محاوره ای افزودن ، Nitride را در لیست انتخاب های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، Nitride Boundaries را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
هندسه مرزهای خارجی
1 | در نوار ابزار تعاریف ،  روی مجاور کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 | در قسمت انتخاب‌های ورودی ، روی افزودن کلیک کنید .  |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، همه دامنه‌ها را در لیست انتخاب‌های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای مجاور ، هندسه مرزهای خارجی را در قسمت نوشتار برچسب تایپ کنید . |
مرزهای بیرونی تشدید کننده
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  تفاوت کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . |
3 | از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Input Entities را پیدا کنید . در قسمت Selections to add ، روی  Add کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره ای افزودن ، Resonator Boundaries را در لیست Selections to add انتخاب کنید . |
6 | روی OK کلیک کنید . |
7 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
8 | در قسمت انتخاب‌ها برای تفریق ، روی  افزودن کلیک کنید . |
9 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه مرزهای خارجی را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
10 | روی OK کلیک کنید . |
11 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، Resonator Exterior Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
مرزهای بیرونی الکترود
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  تفاوت کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . |
3 | از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Input Entities را پیدا کنید . در قسمت Selections to add ، روی  Add کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره ای افزودن ، Electrode Boundaries را در لیست Selections to add انتخاب کنید . |
6 | روی OK کلیک کنید . |
7 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
8 | در قسمت انتخاب‌ها برای تفریق ، روی  افزودن کلیک کنید . |
9 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه مرزهای خارجی را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
10 | روی OK کلیک کنید . |
11 | در پنجره تنظیمات برای تفاوت ، Electrode Exterior Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
مرزهای ثابت
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  Intersection کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تقاطع ، بخش Geometric Entity Level را پیدا کنید . |
3 | از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Input Entities را پیدا کنید . در قسمت «انتخاب‌ها برای تقاطع» ، روی  «افزودن» کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای تقاطع ، مرزهای تشدید کننده و مرزهای نیترید را انتخاب کنید . |
6 | روی OK کلیک کنید . |
7 | در پنجره تنظیمات برای تقاطع ، Fixed Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
مرزهای تقارن
1 | در نوار ابزار تعاریف ، روی  جعبه کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات جعبه ، قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . |
3 | از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت متن x حداقل ، -0.1 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن حداکثر x ، 0.1 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
7 | در قسمت نوشتار Label ، Symmetry Boundaries را تایپ کنید . |
مواد
مواد را به مدل اضافه کنید.
مواد را اضافه کنید
1 | در نوار ابزار Home ، روی  Add Material کلیک کنید تا پنجره Add Material باز شود . |
2 | به پنجره Add Material بروید . |
3 | در درخت، MEMS>Semiconductors>Si – Polycrystalline silicon را انتخاب کنید . |
4 | روی Add to Component در نوار ابزار پنجره کلیک کنید . |
5 | در درخت، MEMS>Insulators>Si3N4 – Silicon nitride را انتخاب کنید . |
6 | روی Add to Component در نوار ابزار پنجره کلیک کنید . |
7 | در درخت، MEMS>Insulators>SiO2 – Silicon oxide را انتخاب کنید . |
8 | روی Add to Component در نوار ابزار پنجره کلیک کنید . |
9 | در درخت، Built-in>Air را انتخاب کنید . |
10 | روی Add to Component در نوار ابزار پنجره کلیک کنید . |
11 | در نوار ابزار Home ، روی  Add Material کلیک کنید تا پنجره Add Material بسته شود . |
مواد
Si – سیلیکون پلی کریستالی (mat1)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Materials روی Si – Polycrystalline silicon (mat1) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مواد ، قسمت انتخاب موجودیت هندسی را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، PolySi را انتخاب کنید . |
Si3N4 – نیترید سیلیکون (mat2)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Si3N4 – Silicon nitride (mat2) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مواد ، قسمت انتخاب موجودیت هندسی را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، نیترید را انتخاب کنید . |
SiO2 – اکسید سیلیکون (mat3)
1 | در پنجره Model Builder ، روی SiO2 – Silicon oxide (mat3) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مواد ، قسمت انتخاب موجودیت هندسی را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Oxide را انتخاب کنید . |
آب (mat4)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Air (mat4) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای مواد ، قسمت انتخاب موجودیت هندسی را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، هوا را انتخاب کنید . |
مکانیک جامدات (جامدات)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Solid Mechanics (solid) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Solid Mechanics ، بخش انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Resonator را انتخاب کنید . |
محدودیت ثابت 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Fixed Constraint را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای محدودیت ثابت ، قسمت انتخاب مرز را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Fixed Boundaries را انتخاب کنید . |
تقارن 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Symmetry را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تقارن ، قسمت انتخاب مرز را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Symmetry Boundaries را انتخاب کنید . |
مش متحرک
تغییر شکل دامنه 1
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Moving Mesh روی Deforming Domain 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای تغییر شکل دامنه ، قسمت انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، هوا را انتخاب کنید . |
تقارن / غلتک 1
1 | در پنجره Model Builder ، روی Symmetry/Roller 1 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات Symmetry/Roller ، بخش Boundary Selection را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Symmetry Boundaries را انتخاب کنید . |
الکترواستاتیک (ES)
ویژگی پیش‌فرض Charge Conservation برای استفاده از نوع مواد جامد تنظیم شد. برای نمایش دامنه های غیر جامد (هوا) یک ویژگی دیگر اضافه کنید.
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1) روی Electrostatics (es) کلیک کنید . |
حفظ شارژ، هوا
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Charge Conservation را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حفظ شارژ ، Charge Conservation، Air را در قسمت نوشتاری Label تایپ کنید . |
3 | قسمت انتخاب دامنه را پیدا کنید . از لیست انتخاب ، هوا را انتخاب کنید . |
با این فرض که ماده سیلیکونی رسانای خوبی است، از ویژگی Domain Terminal برای زمین رزوناتور استفاده کنید. توجه: ویژگی پایانه دامنه در این مورد بسیار مفید است، جایی که دامنه رسانا شکل پیچیده ای با سطوح خارجی زیادی دارد – به جای انتخاب تمام مرزها برای تنظیم شرایط مرزی زمین، ترمینال یا پتانسیل الکتریکی، فقط باید دامنه را برای تعیین ترمینال دامنه با همان جلوه انتخاب کنید. علاوه بر این، بار محاسباتی کاهش می یابد، زیرا درجات آزادی الکترواستاتیک در ترمینال دامنه نیازی به حل شدن ندارند.
ترمینال 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Terminal را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای ترمینال ، بخش انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، Resonator را انتخاب کنید . |
4 | قسمت ترمینال را پیدا کنید . از لیست نوع ترمینال ، ولتاژ را انتخاب کنید . |
5 | در قسمت متنی V 0 عدد 0 را تایپ کنید . |
زمین 1
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Boundaries کلیک کنید و Ground را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای زمین ، قسمت انتخاب مرز را پیدا کنید . |
3 | از لیست Selection ، Ground Plane را انتخاب کنید . |
از ویژگی Domain Terminal برای تعیین ولتاژ بایاس برای دامنه الکترود استفاده کنید.
ترمینال 2
1 | در نوار ابزار Physics ، روی  Domains کلیک کنید و Terminal را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای ترمینال ، بخش انتخاب دامنه را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، الکترود را انتخاب کنید . |
4 | قسمت ترمینال را پیدا کنید . از لیست نوع ترمینال ، ولتاژ را انتخاب کنید . |
5 | در قسمت متن V 0 ، Vdc را تایپ کنید . |
مش 1
مثلثی رایگان 1
1 | در نوار ابزار Mesh ، روی  Boundary کلیک کنید و Free Triangular را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Free Triangular ، بخش Boundary Selection را پیدا کنید . |
3 | از لیست انتخاب ، مش مثلثی آزاد را انتخاب کنید . |
4 |  روی Build Selected کلیک کنید . |
جارو 1
1 | در نوار ابزار Mesh ، روی  Swept کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Swept ، روی  Build Selected کلیک کنید . |
ثابت
1 | در پنجره Model Builder ، روی Study 1 کلیک راست کرده و Rename را انتخاب کنید . |
2 | در کادر محاوره ای تغییر نام مطالعه ، Stationary را در قسمت متن برچسب جدید تایپ کنید . |
3 | روی OK کلیک کنید . |
4 | در نوار ابزار صفحه اصلی ،  روی محاسبه کلیک کنید . |
نتایج
آینه سه بعدی 1
1 | در پنجره Model Builder ، گره Results را گسترش دهید . |
2 | روی Results>Datasets کلیک راست کرده و More 3D Datasets>Mirror 3D را انتخاب کنید . |
گروه طرح سه بعدی 4
1 | در نوار ابزار نتایج ، روی  3D Plot Group کلیک کنید . |
2 | در پنجره Settings for 3D Plot Group ، بخش Data را پیدا کنید . |
3 | از لیست Dataset ، Mirror 3D 1 را انتخاب کنید . |
جلد 1
1 | روی 3D Plot Group 4 کلیک راست کرده و Volume را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای حجم ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش Expression کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Solid Mechanics>Displacement>Displacement field – m>w – Displacement field, Z-component را انتخاب کنید . |
3 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید . از لیست تبدیل جدول رنگ ، Reverse را انتخاب کنید . |
ایزورفیس 1
1 | در پنجره Model Builder ، روی 3D Plot Group 4 کلیک راست کرده و Isosurface را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Isosurface ، روی Replace Expression در گوشه سمت راست بالای بخش Expression کلیک کنید . از منو، Component 1 (comp1)>Electrostatics>Electric>V – Electric Potential – V را انتخاب کنید . |
3 | قسمت Levels را پیدا کنید . از لیست روش ورود ، سطوح را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت متن Levels ، 10 20 30 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Coloring and Style را پیدا کنید .  روی تغییر جدول رنگ کلیک کنید . |
6 | در کادر محاوره ای Color Table ، Traffic>Traffic در درخت را انتخاب کنید. |
7 | روی OK کلیک کنید . |
8 | در پنجره تنظیمات برای Isosurface ، بخش Coloring and Style را پیدا کنید . |
9 | تیک Color legend را پاک کنید . |
جابجایی مغرضانه
1 | در پنجره Model Builder ، در بخش Results روی 3D Plot Group 4 کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای گروه طرح سه بعدی ، Biased Displacement را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
نمودار حاصل را با شکل 2 مقایسه کنید .
ضمیمه – دستورالعمل های مدل سازی هندسه
از منوی File ، New را انتخاب کنید .
جدید
در پنجره جدید ، روی Blank Model کلیک کنید .
Blank Model کلیک کنید .افزودن کامپوننت
در نوار ابزار Home ، روی Add Component کلیک کنید و 3D را انتخاب کنید .
Add Component کلیک کنید و 3D را انتخاب کنید .هندسه 1
1 | در پنجره تنظیمات هندسه ، بخش Units را پیدا کنید . |
2 | از لیست واحد طول ، میکرومتر را انتخاب کنید . |
بلوک 1 (blk1)
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Block کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Block ، قسمت Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 38.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت Depth text عدد 12 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن ارتفاع ، 4.7 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن x ، -38.9 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت متن y ، -6 را تایپ کنید . |
8 | در قسمت متن z ، -1.2 را تایپ کنید . |
9 | برای گسترش بخش لایه ها کلیک کنید . در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
نام لایه | ضخامت (ΜM) |
لایه 1 | 1.5 |
لایه 2 | 0.5 |
10 | زیربخش Layer position را پیدا کنید . چک باکس Front را انتخاب کنید . |
11 | چک باکس Back را انتخاب کنید . |
12 | تیک Bottom را پاک کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)
1 | در نوار ابزار هندسه ، روی صفحه  کار کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای صفحه کار ، قسمت تعریف هواپیما را پیدا کنید . |
3 | از لیست Plane ، zx-plane را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت متن مختصات y ، -6 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> هندسه صفحه
در پنجره Model Builder ، روی صفحه هندسه کلیک کنید .
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 1 (r1)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width 0.15 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 38.9 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.45 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -38.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 2 (r2)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 1.5 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.3 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -36.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 3 (r3)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 1.3 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.1 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -36.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 4 (r4)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.7 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، 0.2 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -35.6 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 5 (r5)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 14 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن yw ، -34.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 6 (r6)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.7 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، 0.2 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -20.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 7 (r7)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.7 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن yw ، -20.9 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 8 (r8)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 10 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.1 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -20.2 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 9 (r9)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 10.4 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.3 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -20.4 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 10 (r10)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.3 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.2 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.1 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -10.2 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 11 (r11)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 10 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن yw ، -10 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 12 (r12)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 1.9 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 10.2 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، 0.2 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -10.2 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 13 (r13)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.2 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.1 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -20.4 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 14 (r14)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.3 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.2 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت نوشتار xw ، -0.1 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت متن yw ، -35.6 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> مستطیل 15 (r15)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Rectangle کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Rectangle ، بخش Size and Shape را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن Width ، 0.2 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن ارتفاع ، 0.5 را تایپ کنید . |
5 | قسمت Position را پیدا کنید . در قسمت متن yw ، -35.4 را تایپ کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> اتحادیه 1 (uni1)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Booleans and Partitions کلیک کنید و Union را انتخاب کنید . |
2 | فقط اشیاء r12 ، r3 ، r4 ، r5 ، r6 و r8 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای Union ، بخش Union را پیدا کنید . |
4 | کادر تیک Keep interior borders را پاک کنید . |
صفحه کار 1 (wp1)> اتحادیه 2 (uni2)
1 | در نوار ابزار Work Plane ، روی  Booleans and Partitions کلیک کنید و Union را انتخاب کنید . |
2 | فقط اشیاء r10 ، r11 ، r13 ، r14 ، r15 ، r2 ، r7 و r9 را انتخاب کنید. |
3 | در پنجره تنظیمات برای Union ، بخش Union را پیدا کنید . |
4 | کادر تیک Keep interior borders را پاک کنید . |
اکسترود 1 (ext1)
1 | در پنجره Model Builder ، در قسمت Component 1 (comp1)>Geometry 1 روی Work Plane 1 (wp1) کلیک راست کرده و Extrude را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Extrude ، بخش Distances را پیدا کنید . |
3 | در جدول تنظیمات زیر را وارد کنید: |
فواصل (ΜM) |
12 |
فرم اتحادیه (فین)
1 | در پنجره Model Builder ، روی Form Union (fin) کلیک کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات Form Union/Assembly ، روی  Build Selected کلیک کنید . |
هندسه
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Explicit Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب صریح ، هندسه را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Entities to Select را پیدا کنید . از لیست سطح نهاد هندسی ، Object را انتخاب کنید . |
4 | فقط باله شی را انتخاب کنید . |
هواپیمای زمینی
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب کادر ، Ground Plane را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت حداقل متن z ، -2 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت حداکثر متن z ، -1 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
اکسید
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب کادر ، Oxide را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت حداقل متن z ، -1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.9 را تایپ کنید . |
نیترید
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، Nitride را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
3 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت حداقل متن z ، -0.4 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.35 را تایپ کنید . |
الکترود
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، در قسمت Label text Electrode را تایپ کنید . |
3 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت متن x حداقل ، -0.1 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت متن حداکثر x ، 0.1 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت حداقل y متن، -4.2 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت حداقل متن z ، -0.15 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت حداکثر متن z ، -0.1 را تایپ کنید . |
انتخاب توپ 1 (ballsel1)
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Ball Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب توپ ، بخش مرکز توپ را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن z ، 1 را تایپ کنید . |
4 | قسمت Ball Radius را پیدا کنید . در قسمت متن Radius ، 0.1 را تایپ کنید . |
جعبه انتخاب 5 (boxsel5)
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت متن حداکثر y ، 4.8 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداقل متن z ، -0.35 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت حداکثر متن z ، 0.05 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
جعبه انتخاب 6 (boxsel6)
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای Box Selection ، قسمت Box Limits را پیدا کنید . |
3 | در قسمت حداقل متن x ، -15 را تایپ کنید . |
4 | در قسمت حداکثر متن x ، 15 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن حداکثر y ، 4.8 را تایپ کنید . |
6 | در قسمت حداقل متن z ، -0.35 را تایپ کنید . |
7 | در قسمت حداکثر متن z ، 0.05 را تایپ کنید . |
8 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
طنین انداز
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Difference Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره Settings for Difference Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 |  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای افزودن ، Ball Selection 1 و Box Selection 5 را انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره Settings for Difference Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
7 |  روی افزودن کلیک کنید . |
8 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، کادر انتخاب 6 را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
9 | روی OK کلیک کنید . |
10 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب تفاوت ، Resonator را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
PolySi
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Union Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب اتحادیه ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 |  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست Selections to add ، Electrode and Resonator را انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب اتحادیه ، PolySi را در قسمت متن Label تایپ کنید . |
هوا
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Difference Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب تفاوت ، Air را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه را در لیست انتخاب‌ها برای افزودن انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره Settings for Difference Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
7 |  روی افزودن کلیک کنید . |
8 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق ، Oxide ، Nitride و PolySi را انتخاب کنید . |
9 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای تشدید کننده
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و گزینه Adjacent Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب مجاور ، Resonator Boundaries را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
3 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، Resonator را در لیست انتخاب‌های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای الکترود
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و گزینه Adjacent Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب مجاور ، Electrode Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره ای افزودن ، الکترود را در لیست انتخاب های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای نیترید
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و گزینه Adjacent Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب مجاور ، Nitride Boundaries را در قسمت نوشتار Label تایپ کنید . |
3 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره ای افزودن ، Nitride را در لیست انتخاب های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
هندسه مرزهای خارجی
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و گزینه Adjacent Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره Settings for Adjacent Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
3 |  روی افزودن کلیک کنید . |
4 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه را در فهرست انتخاب‌های ورودی انتخاب کنید . |
5 | روی OK کلیک کنید . |
6 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب مجاور ، Geometry Exterior Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
مرزهای بیرونی تشدید کننده
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Difference Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب تفاوت ، قسمت سطح موجودیت هندسی را پیدا کنید . |
3 | از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | در قسمت نوشتار Label ، Resonator Exterior Boundaries را تایپ کنید . |
5 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
6 | در کادر محاوره ای افزودن ، Resonator Boundaries را در لیست Selections to add انتخاب کنید . |
7 | روی OK کلیک کنید . |
8 | در پنجره Settings for Difference Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
9 |  روی افزودن کلیک کنید . |
10 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه مرزهای خارجی را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
11 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای بیرونی الکترود
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Difference Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب تفاوت ، Electrode Exterior Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره ای افزودن ، Electrode Boundaries را در لیست Selections to add انتخاب کنید . |
6 | روی OK کلیک کنید . |
7 | در پنجره Settings for Difference Selection ، بخش Input Entities را پیدا کنید . |
8 |  روی افزودن کلیک کنید . |
9 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، هندسه مرزهای خارجی را در فهرست انتخاب‌ها برای تفریق انتخاب کنید . |
10 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای ثابت
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و گزینه Intersection Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب تقاطع ، Fixed Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Input Entities را پیدا کنید .  روی افزودن کلیک کنید . |
5 | در کادر محاوره‌ای افزودن ، در فهرست انتخاب‌ها برای تقاطع ، مرزهای نیترید و مرزهای بیرونی تشدیدکننده را انتخاب کنید . |
6 | روی OK کلیک کنید . |
مرزهای تقارن
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Box Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب کادر ، Symmetry Boundaries را در قسمت متن برچسب تایپ کنید . |
3 | قسمت Geometric Entity Level را پیدا کنید . از لیست Level ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | قسمت Box Limits را پیدا کنید . در قسمت متن x حداقل ، -0.1 را تایپ کنید . |
5 | در قسمت متن حداکثر x ، 0.1 را تایپ کنید . |
6 | قسمت Output Entities را پیدا کنید . از فهرست Include entity if ، Entity inside کادر را انتخاب کنید . |
مش مثلثی رایگان
1 | در نوار ابزار Geometry ، روی  Selections کلیک کنید و Explicit Selection را انتخاب کنید . |
2 | در پنجره تنظیمات برای انتخاب صریح ، بخش Entities to Select را پیدا کنید . |
3 | از لیست سطح نهاد هندسی ، Boundary را انتخاب کنید . |
4 | تیک گروه بر اساس مماس پیوسته را انتخاب کنید . |
5 | در فیلد نوشتار برچسب ، مش مثلثی آزاد را تایپ کنید . |
6 | در باله شی ، فقط مرزهای 2، 5، 8، 55، 58، 112، 163 و 254 را انتخاب کنید. |
