این مدل آموزشی نشان می دهد که چگونه می توان یک مدل برای یک راکتور ICP یا CCP با استفاده از پلاسمای جفت القایی جدید با رابط RF Bias آماده کرد. از شیمی پلاسما برای آرگون و کلر استفاده شده است و استراتژی‌هایی برای مدل‌سازی تخلیه‌های الکترونگاتیو در مستندات مورد بحث قرار گرفته‌اند. این مدل از افزونه جدید Plasma Chemistry استفاده می کند که به طور خودکار شیمی های پلاسما را از یک فایل ایجاد می کند.
این مدل برای یک راکتور ICP با مخلوطی از آرگون و اکسیژن حل می شود. مدل پلاسما با جریان سیال و گرمایش گاز همراه است. استراتژی‌های مدل‌سازی تخلیه‌های الکترونگاتیو در مستندات مورد بحث قرار گرفته‌اند. این مدل از افزودنی جدید Plasma Chemistry استفاده می کند که به طور خودکار شیمی های پلاسما را از یک فایل ایجاد می کند.
این مدل برای یک راکتور CCP با مخلوطی از آرگون/اکسیژن حل می شود. استراتژی‌هایی برای مدل‌سازی شیمی‌های پیچیده و تخلیه‌های الکترونگاتیو در پلاسما، رابط دوره‌ای زمانی مورد بحث قرار گرفته‌اند. این مدل از افزونه جدید Plasma Chemistry استفاده می کند که به طور خودکار شیمی های پلاسما را از یک فایل ایجاد می کند.
این مدل معادله بولتزمن را در تقریب دو ترم برای مخلوطی از نیتروژن و اکسیژن که نشان دهنده هوای خشک است، حل می کند. ضرایب انتقال الکترون و شرایط منبع با ادغام مناسب تابع توزیع انرژی الکترون بر روی سطوح مقطع برخورد الکترون محاسبه می‌شوند. مستندات نشان می دهد که چگونه تابع توزیع انرژی الکترون را برای صادرات آماده کنیم تا بتوان از آن در رابط پلاسما استفاده کرد. در مورد آنچه مدل های سیال پلاسمای داده نیاز دارند و چگونه می توان آن را با معادله بولتزمن، رابط تقریبی دو مدت محاسبه کرد، بحث شده است.
