مطالعه اغتشاش حرارتی، دامنه فرکانس با رابط های مختلف انتقال حرارت در دسترس است و به ماژول انتقال حرارت یا ماژول MEMS نیاز دارد. این مطالعه حالت‌های ویژه و فرکانس‌های ویژه مدل خطی شده را در اطراف یک میدان دمایی حالت پایدار محاسبه می‌کند.
این مطالعه شامل دو مرحله مطالعه است: یک مرحله مطالعه ثابت ، برای محاسبه راه حل حالت پایدار، و به دنبال یک مرحله مطالعه فرکانس، دامنه، اختلال ، برای محاسبه نوسانات هارمونیک.
