هندسه شتاب سنج میکروماشین سطح

این یک فایل MPH قالب حاوی رابط های فیزیکی و هندسه پارامتری برای شتاب سنج ریزماشین سطحی مدل است. برای توضیح آن مدل، از جمله دستورالعمل های گام به گام دقیق که نحوه ساخت آن را نشان می دهد، به شتاب سنج میکروماشین سطحی مراجعه کنید .

MEMS_Module/Sensors/surface_micromachined_accelerometer_geom